“行了吧🕟，那你们忙吧，⚠💶🖒我先去别处看看。”
段云说完，对众人微微一笑，转身离开了🕨🌆实验室🝥。
走出研发中心之🖕后，段云坐在自己的车里，陷入了短暂的沉思。
尽管得到了黄令仪承诺的可以在年内完成NA🙭DA芯片的承诺，然而对段云来说，如果想长期在国际芯片产业占据一席之地，它还有很多的问题需要解决。
而其中之一，🀜♏就是要保证拥有制造芯片所需的最🝥先进的光刻机。
说起光刻机☾🅁🃤，后世🃴🜃⛅人们第一个想到的就是荷兰的阿斯麦公司。
其实在七八十年🖕代的时候，咱们国家就已🕨🌆经有了国产光刻🚇👔机。
国产第1台光🀜♏刻机GK-3型半自动接近式光刻机诞生于1977年，而🜬🅋那个时候荷兰的阿斯麦连成立都没有成立。
光刻机是🕟大系统高精尖技术和🄸工程极限高度融合的结晶，被誉为集成电路产业💻链“皇冠上的明珠”。
日本的尼康和佳能于20世纪60年代末开始进入🍯光刻机领域，中国利用光刻技术制造集成电路，大致也是始于同一时期。
但是中国的光刻机产业可以用🄸一句话来形容，那就是：起了个大早，赶了个晚集。
1965年，我国第1块集成电路在北京，石🙭家庄和上海等地相继问世，1974年9月第1次全国大规模集成电路🉄🄴工业会议召开，国家纪委在北京召开的“全国大规模集成电路及基础材料攻关大会战会议”上，拟定的目标是在1974年到1976年，突破大规模集成电路的工艺装备基础材料等方面的关键技术，司机部组织京沪电子工业会战进行大规模集成电路及材料装备研发，突破超威力钢板，光刻胶超纯净试剂，高纯度气体磁场，偏转电子束镀膜机等材料装备。
1975年12月🃴🜃⛅第2次全国大规模集成电路会议在上海召开，1977年1月第3次全国大规模集成电路🅩🉐会议在贵州召开，这三次会议可以说直接导致了上世纪80年代前后，中科院系统电子部系统地方各研发单位光刻机成果的第1次大爆发。